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INHA質量流量控制器可測量腐蝕性氣體，結構緊湊，重復性高，響應時間快，性價比高，可廣泛用于設備配套。

自主開發(fā)研制的產品質量流量計，是***種先進的智能精密質量流量測量儀表。該流量計可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。 該流量計即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現出優(yōu)異的性能。其內部沒有活動部件，不需復雜的安裝，對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能；適用于實時在線測量和實時在線監(jiān)控。其基本技術指標已達到***際先進水平，具有非常廣闊的發(fā)展及應用前景。 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需要。   

用途和特點

氣體質量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝設備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。

主要技術指標

結構

氣體質量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質量流量計的基礎上，再加上調節(jié)閥門和PID控制電路就構成了氣體質量流量控制器。